微机电系统论文

21世纪最具代表性的技术——微机械

一、二十一世纪最具代表性技术──微机械（论文文献综述）罗雯耀[1]（2021）在《微机械谐振器的模态耦合及非线性行为研究》文中指出微/纳机电系统（Micro/Nano-Elec...